在絕對溫度大于零的所有氣體中，均存在一定的電離現象。任何細微的射線及其他能量都可能使氣體中的分子被加速而獲取能量，當其能量高于氣體的電離能時，電子與分子間的碰撞將導致該氣體的電離。高能離子凈化技術正是基于這種理論進行研發的。等離子體是不同于氣態、固態、液態的第四態物質，由高能電子、正負離子、自由基（OH、H、O、O3等）和中性粒子等組成。

       在電場作用下，離子發生器產生大量的α粒子，α粒子，與空氣中的氧分子進行碰撞而形成正、負氧離子。正氧離子具有很強的氧化性，能在極短的時間內氧化、分解甲硫醇、氨、硫化氫等污染因子，且在與 VOC 分子相接觸后打開有機揮發性氣體的化學鍵，經過一系列的反應，生成二氧化碳和水等穩定無害的小分子。同時，氧離子能破壞空氣中細菌的生存環境，降低室內空間細菌濃度，帶電離子可以吸附大于自身重量幾十倍的懸浮顆粒，靠自重沉降下來，從而清除空中懸浮膠體，達到凈化空氣的目的。

       經過收集管路收集后的惡臭氣體被抽風系統送進濕式噴淋洗滌塔，臭氣與填充式滌氣凈化塔內的除臭液充分接觸，氣液兩相間的傳質是在填料表面的液體與氣體間的相界面上進行，空氣中或水中的惡臭粒子被水分子被膜所包圍著，此時的脫臭必須先破壞水分子被膜，再將其中的惡臭粒子加以捕捉。經廢氣處理設備前面處理較為干凈的廢氣，接入低溫等離子廢氣處理設備，通過等離子放電，打斷有機廢氣分子鍵，與此同時有和高能量活性基團重新結合生成水和二氧化碳，有機廢氣被去除，然后導入二級噴淋凈化塔，進一步吸收一些小分子碎片，便于尾氣檢測，然后由煙囪高空達標排放（也可低空排放）。

       此過程既不同于化學反應過程而生成第三種物質，也不同于掩蓋作用，不會造成二次污染，可徹底去除制藥廠生產車間里的臭味。廢氣源（集氣罩收集好）→高效吸收塔(吸收掉粉塵以及顆粒物易溶于水的無機氣體，為等離子提供優良的運行環境)→低溫等離子設備(破壞廢氣分子結構，轉化為無污染物質，立式設計，更適合施工場地偏小的工況，為工廠節約用地)→高壓風機(高壓的吸力作用下將風抽出車間)→洗滌塔(洗滌塔水洗小分子碎片，利于檢測達標)→煙囪高空排放(也可低空排放)。